4月29日消息，中科富海旗下控股子公司安徽中科昊海气体科技有限公司投资建设的氪氙精制装置一次开车成功，产出的氪气、氙气纯度99.9999%以上，均高于国标高纯氪氙标准。

安徽中科昊海气体科技有限公司主要投资建设高纯特种电子气体项目和高端绿色氢能项目。其中高纯特种电子气体项目首期工程建设一套20Nm³/h氖氦精制装置和一套400Nm³/h氪氙精制装置。其中，氖氦精制装置于2021年3月调试开车成功，氖氦产品纯度99.9999%；氪氙精制装置日前一次调试成功，产出氪氙产品纯度99.9999%。至此，中科富海氖氦氪氙精制装置已全部实现成功投产，助力半导体等高精尖产业的快速发展。

文章来源：气体分离