超声波清洗机技术的改进

1、 超声波清洗机的改进

（1）汇聚增强超声波清洗装置 用一截面积为多边形的管或圆管代替通常的超声波清洗槽，在管的外周面上安装许多超声换能器，在管中充满清洗液，这样各个换能器辐射的声能量都可汇聚到管子的中心线上，并可得到比一般超声波清洗槽高十几倍的声强，因而能大大提高清洗速度。如一种这样的装置，管长19cm，内径7.5cm，把总功率为1kW的对多个磁致伸缩换能器焊接在管的外周面上，使用时在管中心线上可以得到16W/cm2的声强。用于冷拔钢丝、铜线等线材的清洗，清洗速度高，线材不需弯曲变形，即可连续进行超声清洗。

（2）棒状超声波清洗器 其换能器与一棒状幅杆连接，在变幅杆的辐射端面可得到较大声强，一些难清洗的深盲孔=深螺孔可以用这种专用超声清洗工具进行清洗，清洗时向孔中流满清洗液，在声空化及辐射压力的作用下孔中的 被剧烈搅拌，脱离清洗件表面的污物能很快被去除。用这种设备清洗深螺孔特别有效。

2、 超声波频率的改变 在许多高技术产品的生产过程中需要清除粒径小于微米的污垢粒子，例如大规模集成电路硅片、硬磁盘和光刻掩蔽膜的清洗等。此时用低频超视能清洗不但没有效果而且易损伤产品，如采用700kHZ-1MHz的超声波（波长在um级）进行清洗可以使附着在表面上的微小污粒脱离。这类高频超声波不产生空穴而具有更高的能量，它的清洗能力主要依靠声波传递的能量引起媒液剧烈的振动，使污垢在巨大能量作用下解离分散。因此这种兆赫超声波的清洗不是利用超声波的空化作用，而且依靠超声波产生的声速梯度、粒子速度及声流作用配合清洗液的化学作用使细小颗粒脱离被清洗物表面的。利用兆赫超声波清洗具有不损伤清洗物体表面、可以去除粒径在0.15um的微小污垢的特点。超声波清洗机